国产5纳米刻蚀机成功问世，将用于全球首条5纳米制程生产线

朱朱 2018-12-23 来源: 阳阳

芯片，是电子设备的心脏，对于信息化产业来说不可或缺。虽然生产芯片有很多公司，但掌握核心技术就那么几家。值得高兴的是，中国终于填补了这一块空白区域，掌握了制造芯片的核心技术，打破了美日垄断。

早在2017年，上海中微半导体设备有限公司就成功研制出了5纳米等离子刻蚀机，在当时超越国外的10纳米和7纳米，位居国际领先水平。更让人高兴的是，这台5纳米等离子刻蚀机经台积电验证后，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”成功跻身刻蚀机国际第一梯队。

中微公司能获得如此成就，一方面是因为拥有国际化科研团队，另一方面则是具有远见的市场战略。中微公司在2004年创办，当时世界上最先进的芯片生产线是90纳米制程，但中微创立之初就开始研制40纳米刻蚀机，因为集成电路产业技术迭代很快，必须超前两代开展自主研发。中微就在这种自己逼自己的研发环境下，克服了一系列技术难题，获得了举世瞩目的巨大成就。

如今，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。而明年，台积电将率先进入5纳米制程，已通过验证的国产5纳米刻蚀机，预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额。

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5纳米刻蚀机 芯片
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