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北方微电子荣获OFweek LED Awards 2015最佳LED设备技术创新奖

2014-11-25 蕙质兰心

OFweek半导体照明网讯 “OFweek第十二届LED前瞻技术与市场发展高峰论坛”于11月18日在深圳星河丽思卡尔顿酒店圆满落幕,同期举行的还有“OFweek 2015 LED行业年度评选颁奖典礼(OFweek LED Awards 2015)”。今年评选按LED产业上中下游、技术研发、产品应用及企业发展层面共设立9个大类奖项,10个细分奖项。本着“公平、公正、公开”的原则,主办方投入了大量的时间和精力,经过数月的紧张评选,最终评选出38家企业,共42个项目。

其中,北京北方微电子基地设备工艺研究中心凭借其拥有的AlN Sputter设备成功夺得“最佳LED设备技术创新奖”。

AlN Sputter设备产品图片

据了解,北方微电子AlN Sputter设备可提高缓冲层与GaN外延层的晶格匹配度,提高LED产品的输出效率,拓宽MOCVD设备的工艺窗口,使产品的ESD测试通过率大幅提高;减低MOCVD的外延生长时间,提高产能,使整线的生产成本降低。同时,由于AlN薄膜的加入大大地降低了外延生长中的翘曲,大幅提升了芯片的良品率,促使其在大尺寸蓝宝石衬底上应用更具优势。

AlN Sputter设备是应用于GaN基LED制程中图形化或平面蓝宝石基片的AlN薄膜缓冲层沉积设备。是国内首个成功应用于GaN基LED制程的AlN薄膜缓冲层沉积设备,同时也完成了在国内主流芯片厂商验证和批量销售。并且该设备亦可扩展至2-8英寸硅、碳化硅基片的MEMS、HEMT领域中的AlN薄膜的制备。

由OFweek中国高科技行业门户主办,OFweek半导体照明网与OFweek照明网承办的OFweek LED前瞻技术与市场发展高峰论坛已成功举办了十二届。OFweek LED summit 2015定位于全球LED产业技术与市场,旨在为业内人士搭建一个分享经验、交流技术的平台,同期举办的评选成功延续了历往十一届盛会的精神,旨在不遗余力借助各方力量,推动LED产业健康发展,为企业更好地认识行业现状及有力的把握未来发展趋势搭建起来一座通往成功彼岸的桥梁。

欲了解更多会议主题报告的精彩内容及颁奖盛况,请进入“OFweek第十二届LED前瞻技术与市场发展高峰论坛暨OFweek LED Awards 2015年度评选颁奖典礼”专题报道。

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